1. تکرار: تا 0.1 میکرومتر. تکرارپذیری فوق العاده بالا را ارائه می دهد، مناسب برای کاربردهای بازرسی فوق العاده دقیق.
2. فاصله کاری: فاصله کاری اسمی 50 میلی متر. طراحی شده برای اندازه گیری با دقت بالا و برد نزدیک.
3. خطی بودن: خطای اندازه گیری ≤ ± 0.05% FS. خطی بودن عالی را در محدوده اندازه گیری نشان می دهد.
4. فرکانس نمونه برداری: پهنای باند قابل تنظیم 1-88 کیلوهرتز. از بازرسی دقیق استاتیک و اندازه گیری دینامیکی با سرعت بالا پشتیبانی می کند.
5. اندازه نقطه: لکه عرض 75 × 480 میکرومتر. ایده آل برای تصویربرداری پایدار از سطوح ناهموار و قطعات کار ناهموار.
6. مشخصات دما: رانش حرارتی به اندازه 0.01% FS/°C. نتایج اندازه گیری تقریباً تحت تأثیر نوسانات دمای محیط قرار نمی گیرد.
پارامترهای عملکرد
زمینه های کاربردی